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该项目2000平方厂房，年产碳化硅高温氧化炉装备60台套,计划购置残余气体分析系统、通用CFD仿真软件（ansys）、俄歇电子能谱仪、透射电子显微镜、四探针电阻测量仪、光学椭偏仪等设备试装线，包括新产品的研发试制、装配测试、质量检测、仓储物流等
