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| 三维光学轮廓仪 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 三维光学轮廓仪 |
| 预算金额： | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****0000-设备_A****0000-电工、电子生产设备_A****0100-电工生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 三维光学轮廓仪具备白光干涉、相位差干涉、共聚焦三种测量模式；物镜数量4个及以上，水平分辨率优于0.2μm，垂直分辨率优于0.2nm。CCD相机像素大于等于500万，帧率大于等于120；配备电动位移台，可实现晶圆位姿调整；配备数据批量处理软件，配备数据分析软件。以实际公告为准。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
