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| 光学薄膜蒸发系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 光学薄膜蒸发系统 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****0000-设备_A****0000-电工、电子生产设备_A****0300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 光学薄膜蒸发系统，设备需支持多层膜系设计，兼容多种镀膜材料（如Si、Ge、SiO2、TiO2、Ta2O5、Al2O3等）。镀膜均匀性：≤±1%；膜层厚度控制精度：≤±0.5nm（需支持实时监控系统）；真空度：≤5×10-6Pa（极限真空度）；镀膜速率：根据工艺需求可调（如0.1-10nm/s）；自动化程度：配备自动翻转系统、膜厚监控软件及工艺参数数据库；带离子源，配备光控模块，8寸向下兼容。以实际公告为准。 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
