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| 快速GaN刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 快速GaN刻蚀机 |
| 预算金额： | 600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****0000-设备_A****0000-电工、电子生产设备_A****0300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 快速GaN刻蚀机用于实现4/8英寸GaN材料的快速刻蚀工艺加工，设备具备传片LoadLock+工艺腔模块；全自动卡塞传片模式，采用静电吸盘；刻蚀GaN速率≥300nm/min；8英寸片内刻蚀非均匀性≤±3%。以实际公告为准。 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
