先进半导体核心部件制造和集成装配及表面处理清洗项目拟批准公示

建设地点：****开发区希望路与文景路交叉口西北侧；

建设单位：****；

环评机构：******公司；

项目概况：****拟投资于**高新区文景路以北、希望路以**业用地约21亩，购置自动化学清洗线、化学镀镍生产线、阳极氧化/电解抛光线、刷****加工中心等设备，建设先进半导体核心部件制造和集成装配及表面处理清洗项目，建成后将实现年生产半导体行业CVD模组、PVD模组、刻蚀模组及传输模组4850台套（2255吨/年）。项目主要生产工艺分为以下几类：①机械加工工艺：不锈钢、铝合金基材进行切割、CNC加工、脱脂清洗、水洗、焊接、热处理（部分不锈钢部件）、打磨抛光、脱脂清洗、水洗、喷砂或熔射喷涂。熔射处理后的部件经后续精密清洗工艺后进行组装，其他完成机加工的部件去化学清洗。②化学清洗工艺：铝合金、不锈钢、钛合金材质部件有常规化学清洗与HIO化学清洗两种清洗工艺，其中HIO化学清洗相较于常规化学清洗增加了二次酸洗过程，主要清洗工艺为脱脂、水洗、酸蚀、水洗、酸洗、水洗、铝合金皮膜剂导电氧化/不锈钢、钛合金柠檬酸钝化、水洗、二次酸洗及水洗（此工序为HIO化学清洗增加的工序）、热水洗、不锈钢、钛合金高压喷洗。HIO化学清洗线1清洗不锈钢，HIO化学清洗线2清洗铝合金，HIO化学清洗线3清洗钛合金。化学清洗线1清洗大件铝合金和不锈钢，化学清洗线2清洗小件铝合金，化学清洗线3清洗小件不锈钢和钛合金，化学清洗线4清洗中件铝合金和不锈钢。碳化硅化学清洗工艺为脱脂、水洗、高压喷洗。化学清洗线5清洗碳化硅。树脂化学清洗工艺为高压喷洗、脱脂、水洗、酸蚀、水洗、酸洗、水洗、超声波热水洗。化学清洗线6清洗树脂。铜合金化学清洗工艺为脱脂、水洗、抛光（30%硝酸、15%硫酸、5%盐酸）及水洗/酸洗及水洗、钝化、水洗、超声波热水洗、高压喷洗。化学清洗线7清洗铜合金。陶瓷、石英化学清洗工艺为酸蚀、水洗、超声波热水洗。化学清洗线8清洗陶瓷、石英。化学清洗后部分部件进入表面处理工艺，剩余经后续精密清洗工艺后进行组装。③表面处理工艺：分为刷镀镍（铝合金）、阳极氧化（铝合金）、电解抛光（铝合金及不锈钢）、化学镀镍（铝合金、不锈钢及外购碳钢，其中不锈钢材质增加冲击镍处理工段）。部分部件表面处理前，利用胶带及紫外线固化胶水对料件表面不需要进行表面处理区域进行遮蔽。表面处理过程中不定时采用抹布蘸取乙醇、异丙醇或丙酮对料件表面进行擦拭。刷镀镍工艺为脱脂、水洗、电解除油、水洗、活化、水洗、刷镀镍、水洗、脱脂、水洗。阳极氧化工艺为预处理（分为酸洗预处理及化学抛光预处理两种方式）、阳极氧化（分为硫酸阳极氧化+水洗、硬质阳极氧化+水洗、草酸阳极氧化+水洗），5%的合格品进行表调+水洗+染色后与其余合格品进行纯水封孔+水洗或醋酸镍封孔+水洗，再进行超声波热水洗、高压喷洗。不合格品进行退镀+水洗后返回预处理工序。电解抛光工艺为电解抛光、水洗、钝化、水洗。不锈钢及碳钢化学镀镍工艺为高压喷洗、脱脂、水洗、盐酸活化、水洗、冲击镍及水洗（不锈钢材质增加工艺）、化学镍、水洗、钝化封孔、水洗、热水洗、高温喷洗。铝合金化学镀镍工艺为高压喷洗、脱脂、水洗、碱洗、水洗、酸洗、水洗、锌置换、水洗、锌剥离、水洗、锌置换、水洗、氨水洗、水洗、化学镍、水洗。不合格品退镀+水洗+抛光打磨后返回高压喷洗工序。完成表面处理工序后部件进入精密清洗工艺。④精密清洗工艺：精密清洗工艺为超声波清洗、热水浸洗、烘干。⑤组装工艺：人工装配并产品测试后得到成品。厂内另设置一条实验线，对铝合**极氧化、铝合金/不锈钢电解抛光及化学镍相关工艺参数进行验证，确保部件加工满足客户需求后方可批量生产。实验线认证试片作为样品提供客户，不做产品销售。实验线工艺与表面处理工艺类似，加工规模约占1%。本项目新增劳动定员320人，三班制，每班8小时，年生产300天，不提供食宿。项目总投资10000万元，环保投资600万元，环保投资占比6%。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施如下：

1、大气污染防治措施

3条HIO化学清洗废气（氟化物、氮氧化物）由槽边侧吸+密闭生产线顶吸收集，经碱喷淋处理后，通过30m高DA001排放。

化学清洗线2、3、6、8清洗废气（氟化物、氮氧化物）由槽边侧吸+密闭生产线顶吸收集，经碱喷淋处理后，通过30m高DA002排放。

化学清洗线7清洗废气（盐酸雾、硫酸雾、氮氧化物）由槽边侧吸+密闭生产线顶吸收集，污水处理站废气由加盖引风收集，合并经碱喷淋处理后，通过30m高DA003排放。

实验室废气（盐酸雾、硫酸雾、氮氧化物、氨）由通风橱收集、溶剂擦拭废气（非甲烷总烃）由固定擦拭点位上方集气罩收集、试验线废气（盐酸雾、硫酸雾、磷酸雾、氮氧化物、氟化物、非甲烷总烃、碱雾）由槽边侧吸+密闭生产线顶吸收集，合并经碱喷淋（配套除雾措施）+活性炭装置处理后，通过30m高DA004排放。

化学清洗线1清洗废气（氟化物、氮氧化物）由槽边侧吸+密闭生产线顶吸收集，经二级碱喷淋处理后，通过30m高DA005排放。

化学清洗线4清洗废气（氟化物、氮氧化物）由槽边侧吸+密闭生产线顶吸收集，经碱喷淋处理后，通过30m高DA006排放。

刷镀镍生产线废气（盐酸雾、非甲烷总烃）由集气罩收集，化学镀镍生产线废气（盐酸雾、非甲烷总烃、氨、氟化物、氮氧化物）由槽边侧吸+密闭生产线顶吸收集，合并经碱喷淋处理后，通过30m高DA007排放。

阳极氧化线废气（氟化物、非甲烷总烃、碱雾、氮氧化物、硫酸雾）由槽边侧吸+密闭生产线顶吸收集，经二级碱喷淋处理后，通过30m高DA008排放。

喷砂粉尘（颗粒物）由密闭喷砂房负压收集，经防爆滤筒除尘器处理后，通过30m高DA009排放。

熔射喷涂废气（颗粒物）由密闭车间负压收集，经湿式除尘器处理后，通过30m高DA010排放。

危废仓库废气（氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、非甲烷总烃）由密闭集气，碱喷淋处理后，通过6m高DA011排放。

上述未收集废气车间无组织排放。

CNC、车铣加工废气无组织排放。焊接烟尘无组织排放。抛光、打磨粉尘经操作台下部抽风集气，循环水槽吸收后，其余未收集粉尘无组织排放。

DA001、DA002、DA005、DA006排气筒氟化物、氮氧化物有组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准。

DA003排气筒氯化氢、硫酸雾、氮氧化物有组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准，氨、硫化氢、臭气浓度有组织排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准。

DA004排气筒氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、氟化物、非甲烷总烃有组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准，磷酸雾、碱雾参照执行《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1标准，氨、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准。

DA007排气筒氮氧化物、氟化物、氯化氢执行《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表5标准，非甲烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准，氨、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准。产品基准排气量执行《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表6标准。

DA008排气筒氮氧化物、氟化物、硫酸雾执行《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表5标准，磷酸雾、碱雾参照执行《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1标准。产品基准排气量执行《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表6标准。

DA009排气筒颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准。

DA010排气筒颗粒物执行《工业涂装工序大气污染物排放标准》（DB32/4439-2022）表1标准。

DA011排气筒氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、非甲烷总烃执行《工业涂装工序大气污染物排放标准》（DB32/4439-2022）表1标准，速率执行50%要求。

厂界颗粒物、非甲烷总烃、氮氧化物、氟化物、硫酸雾、氯化氢、厂区内非甲烷总烃分别执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表3、表2标准，厂界氨、硫化氢、臭气浓度无组织排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1标准，磷酸雾参照执行《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）附录D中五氧化二磷标准值。

2、废水污染防治措施

生活污水经化粪池处理后接管******公司。接管标准执行******公司设计进水标准。

蒸汽冷凝水及精密清洗线废水回用于纯水制备，回用标准执行回用标准参照《城市污水再生利用 工业用水水质》（GB/T 19923-2024）工艺用水水质。

有机废水包括机加工脱脂线脱脂槽废水、3条HIO清洗线脱脂槽废水、1-7化学清洗线脱脂槽废水、刷镀镍线脱脂槽及电解除油槽废水、阳极氧化/电解抛光线脱脂槽废水、化学镍脱脂槽废水、实验线脱脂槽废水，以上废水进入有机废水预处理装置（一体式气浮机）预处理。

含氟废水包括废气喷淋废水、HIO清洗线2、3的酸蚀后水洗废水、化学清洗线1-4的铝件/钛合金件酸蚀后水洗废水、化学清洗线6的树脂酸蚀后水洗废水、化学清洗线8的陶瓷/石英酸蚀后水洗废水、阳极氧化线酸洗后水洗废水、化学镀镍线的铝合金酸洗后水洗废水、实验线铝件酸蚀剂酸洗后水洗废水，以上废水进入含氟废水预处理装置（多级絮凝沉淀+精密过滤+树脂吸附）预处理。

电解抛光后水洗废水经化抛废水预处理装置（絮凝沉淀）预处理、阳极氧化线染色后水洗废水经染色废水预处理装置（化学氧化+絮凝沉淀）预处理后，合并进入含铬废水处理装置。

含铬废水包括HIO清洗线1的酸蚀/酸洗后水洗废水、化学清洗线1、3、4的不锈钢件酸蚀/酸洗后水洗废水、刷镀镍线的钝化后水洗废水、化学镍线的盐酸活化后水洗废水、实验线不锈钢电解后水洗废水及钝化后水洗废水、预处理后的电解抛光后水洗废水和阳极氧化染色后水洗废水，以上废水进入含铬废水预处理装置（多级混凝沉淀+树脂吸附）预处理。

络合镍废水包括化学镍线及实验线的化学镍后水洗废水，进入络合镍废水预处理装置（化学氧化+混凝沉淀）预处理后，进入含镍废水预处理装置。

含镍废水包括刷镀镍线刷镀镍后水洗废水、阳极氧化线醋酸镍封孔后水洗废水、化学镍线退镀后水洗废水和冲击镍后水洗废水、实验线退镀后水洗废水，以上废水进入含镍废水预处理装置（化学氧化+多级絮凝沉淀+树脂吸附）预处理。

综合废水包括表面处理线上其余废水、地面清洁废水、实验室检验废水、初期雨水池沉淀后的初期雨水，综合废水与有机废水、含氟废水、含铬废水、含镍废水预处理装置出水，一并进入综合废水处理装置（絮凝沉淀+水解酸化+接触氧化+沉淀）处理，部分出水接管排放，剩余进入中水处理系统（砂滤+碳滤+树脂+超滤+反渗透）处理后回用于电镀前处理水洗工段，回用水质参照《电镀园区再生水利用 工艺用水标准》（T/CSEA 33-2024）C级标准。中水处理系统浓水接入综合废水处理装置调节池。

综合废水处理装置出水与纯水制备浓水、循环冷却系统排水一并接管******公司。铁、铝接管参照《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表2标准执行，石油类、LAS接管参照《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准，全盐量接管参照《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）表1中B标准溶解性固体限值，其余因子接管标准执行******公司协议中限值。车间预处理设施含镍废水预处理装置排口、含铬废水预处理装置排口总铬、总镍、六价铬执行《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表2标准。阳极氧化及化学镀镍废水执行《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）中基准排水量要求。

3、噪声防治措施

噪声源包括各类生产设备、空压机等，通过选用低噪音设备、隔声减振等措施，厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。敏感目标执行《声环境质量标准》（GB3096-2008）中2类标准。

4、固体废物防治措施

一般工业固废：废边角料、普通废包材、废收集尘、废滤筒、槽液过滤废滤芯、喷砂废玻璃砂、纯水制备废滤料、制氮机废分子筛等，出售综合利用。

危险废物：表面处理线废槽液、废切削液、废润滑油、废油桶、实验室废物、废水在线废检测液、废抹布、废活性炭、污水处理污泥、回用水系统废滤料等，委托有资质单位处置。

生活垃圾由环卫部门清运。

5、地下水、土壤污染防治措施

源头控制、分区防渗。重****处理站、危废仓库、甲类库、表面处理车间、事故应急池等，等效黏土防渗层Mb≥6.0m，K≤1×10-7cm/s；一般防渗区包括一般固废仓库、机加工区域等，等效黏土防渗层Mb≥1.5m，K≤1×10-7cm/s。

公示时间：2026年10月20日～2026年10月26日（5个工作日）

公众反馈意见联系方式：

联系电话：0513-****8926

联系地址：****审批局项目投****服务中心****服务大厅）

邮编：226300

听证告知：依据《中华人民**国行政许可法》，自公告起五日内申请人、利害关系人可对上述拟作出建设项目环境影响评价文件批复决定要求听证。