省生态环境厅关于无锡升滕半导体技术有限公司年产23万件半导体设备核心零部件和200套气相沉积及清洗设备项目生态环境影响报告书的批复

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你公司年产23万件半导体设备核心零部件和200套气相沉积及清洗设备项目生态环境影响报告书报批申请收悉。经研究，现批复如下：

一、你公司拟在**区**路东侧、****公司南侧地块建设年产23万件半导体设备核心零部件和200套气相沉积及清洗设备项目，购置CNC加工中心、车床、检测仪器等设备，配套表面处理线、维保线等相关设施。项目建成后将形成年产15万件半导体设备核心零部件、维护保养8万件半导体设备核心零部件、组装生产200套气相沉积及清洗设备产能。该项目符合国家及省产业政策，已取得**高新区（**区）数据局备案（锡新数投备〔2026〕964号）。

项目实施将对周边环境产生一定不利影响，在全面落实《****年产23万件半导体设备核心零部件和200套气相沉积及清洗设备项目生态环境影响报告书》（以下简称《报告书》）和本批复提出的各项生态环境保护措施后，不利生态环境影响能够得到减缓和控制。我厅原则同意《报告书》中所列的建设项目的性质、规模、工艺、地点和生态环境保护对策措施。

二、在项目设计、建设和环境管理中，你公司须落实《报告书》中提出的各项生态环境保护措施要求，严格执行环保“三同时”制度，确保各类污染物达标排放，并在项目建设及运营中重点落实以下要求：

（一）全过程贯彻清洁生产原则和循环经济理念，采用先进工艺和设备，加强生产管理和环境管理，落实各项环境保护措施，减少污染物产生量和排放量，项目单位产品物耗、水耗、能耗和污染物排放等指标应达到国际清洁生产领先水平。

（二）落实《报告书》提出的各项废气治理措施，确保各类废气的处理效率及排气筒高度达到《报告书》提出的要求，采取有效措施控制无组织废气排放。项目表面处理排放的有组织氮氧化物、硫酸雾、氟化物执行《电镀污染物排放标准》（GB 21900—2008）表5标准；维保排放的氮氧化物、氟化物、非甲烷总烃以及喷砂、熔射排放的颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041—2021）表1标准；污水处理站、危废仓库有组织排放的臭气浓度、氨、硫化氢执行《恶臭污染物排放标准》（GB 14554—93）表2标准，非甲烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041—2021）表1标准。厂区内VOCs无组织排放限值执行《大气污染物综合排放标准》（DB 32/4041—2021）表2标准。厂界颗粒物、氮氧化物、硫酸雾、氟化物、非甲烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（DB 32/4041—2021）中表3标准，氨、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB 14554—93）表1标准。

（三）按“清污分流、雨污分流、一水多用、分质处理”原则设计、建设、完善厂区给排水系统。含重金属废水（表面处理废水、地面清洗废水、初期雨水及循环冷却系统排水）进入厂内污水站含重废水系统，采用“两级混凝沉淀+石英砂过滤+活性炭过滤+超滤+两级RO反渗透”处理，RO产水回用至循环冷却系统，二级RO浓水采用一体式蒸发器蒸发，产生的蒸发浓液按危险废物管理，委托有资质单位处置；含氮磷氟废水经过两级混凝沉淀除氟预处理后，与其他废水（一般清洗废水及纯水制备浓水）一并进入厂内污水站综合废水系统，采用“水解酸化+二级AO+高级氧化+多介质过滤”工艺处理，达到协议标准后接管至德宝水务三期工程，采用“超滤+反渗透”工艺处理后，反渗透产生的****公司和区内其他企业，浓****处理厂；生活污****处理厂集中处理。

（四）选用低噪声设备并采取有效的减振、隔声、消声等降噪措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348—2008）3类标准。施工期噪声执行《建筑施工噪声排放标准》（GB 12523—2025）要求。

（五）按“减量化、**化、无害化”原则落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施。一般工业固体废物贮存应符合《关于印发〈一般工业固体废物环境管理工作指南〉的通知》（环办固体函〔2026〕18号），危险废物贮存、转移应符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597—2023）及《危险废物转移管理办法》（生态环境部 **部 交通运输部 部令第23号）相关管理要求，防止产生二次污染。含油金属屑、一般污泥和含氟污泥需开展危险特性鉴别，鉴别结果明确前，暂按危险废物进行管理。危险废物应及时清运并委托有资质单位规范处置。按要求在**省固体废物管理信息系统中填报危废（含污泥）产生和处置情况，提高危废规范化管理水平。依法建立工业固体废物管理台账，如实记录产生种类、数量、流向、贮存、利用、处置等信息，实现可追溯、可查询。

（六）做好土壤和地下水污染防治工作。强化土壤和地下水源头防控，落实《报告书》中提出的分区防渗要求，生产厂房、甲类库、环保综合楼、初期雨水池、事故应急池等应采取重点防渗措施，制定并落实土壤、地下水跟踪监测计划。

（七）强化各项环境风险防范措施，有效防范环境风险。落实《报告书》提出的环境风险防范措施、突发环境事件应急预案编制及管理要求，定期排查整治突发环境事件隐患，按要求配备环境应急设备和物资。完善事故污染物收集系统，建设足够容量的事故废水收集池及配套管网闸阀等应急设施，确保事故废水不进入外环境。

（八）按要求规范设置各类排污口及其标志，并按污染源自动控制相关管理要求建设、安装自动监控设备及其配套设施。按《报告书》提出的环境管理与监测计划实施日常环境管理与监测，监测结果及相关资料备查。

（九）落实《报告书》提出的以厂界为边界设置100米卫生防护距离的要求，该范围内目前无居民住宅、学校、医院等环境敏感目标，以后亦不得建设居民住宅、学校、医院等环境敏感目标。

****公司应对污水处理、废气治理等环保设施设备开展安全风险辨识管控，健全内部环保设施设备稳定运行和管理责任制度，严格依据标准规范建设环保设施设备，确保环保设施设备安全、稳定、有效运行。

三、项目实施后，污染物年排放总量初步核定为：

1.水污染物（接管量/外排环境量）：

生活污水：废水量≤8640吨/8640吨、化学需氧量≤4.32吨/0.2341吨、氨氮≤0.3024吨/0.0148吨、悬浮物≤2.592吨/0.0406吨、总氮≤0.3456吨/0.0576吨、总磷≤0.0432吨/0.002吨。

生产废水（涉重废水除外）：废水量≤45735吨/13720吨、化学需氧量≤2.2868吨/0.3718吨、氨氮≤0.2287吨/0.0235吨、悬浮物≤0.4574吨/0.0645吨、总氮≤0.686吨/0.0915吨、总磷≤0.0229吨/0.0032吨、氟化物≤0.3201吨/0.0154吨（水污染物外排环境量的核算建立在德宝水务落实本项目接管量70%的再生水回用去向的基础上）。

2.大气污染物

有组织排放：氮氧化物≤0.2263吨、硫酸雾≤0.2059吨、磷酸雾≤0.0709吨、氟化物≤0.001006吨、颗粒物≤0.0586吨、非甲烷总烃≤0.0805吨、氨≤0.001吨、硫化氢≤0.0049吨。

无组织排放：氮氧化物≤0.1053吨、硫酸雾≤0.1084吨、磷酸雾≤0.0373吨、氟化物≤0.000204吨、颗粒物≤0.0909吨、非甲烷总烃≤0.0408吨、氨≤0.0011吨、硫化氢≤0.0054吨。

3.固体废物：全部综合利用或规范处置。

四、你公司应当严格落实生态环境保护主体责任，对《报告书》的内容和结论负责。

五、你公司应当依照《排污许可管理条例》规定，及时申领排污许可证；未取得排污许可证的，不得排放污染物。

六、项目建设必须严格执行配套的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度。施工招标文件和施工合同中应明确环保条款和责任，认真落实各项环境保护措施。按规定程序实施竣工环境保护验收。

七、****环境局要切实履行属地监管职责，加强对该项目环境保护“三同时”及自主验收监管。你公司应在收到本批复后20个工作日内，将批准后的《报告书》****环境局、****环境局，并按规定接受各级生态环境部门的日常监督检查。

八、项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的，应当重新报批生态环境影响评价文件。生态环境影响报告书自批准之日起超过五年，该项目方开工建设的，其生态环境影响报告书应当报我厅重新审核。

****生态环境厅

2026年10月23日

（此件公开发布）